我国首台具有自主知识产权半导体照明关键设备问世
近日，由青岛杰生电气有限公司承担的国家"863"半导体照明工程重点项目"氮化镓-MOCVD深紫外LED 材料生长设备"制造取得重大突破，研制成功我国首台具有自主知识产权的、能够同时生长6片外延片的MOCVD设备。
据悉，该设备集精密机械、半导体材料、真空电子、流体力学、光学、化学、计算机多学科为一体，是一种自动化程度高、价格昂贵、技术集成度高的尖端光电子专用设备，在高亮度的蓝光发光二极管(LED)、激光器(LD)、紫外光电探测器、高效率太阳能电池、高频大功率电子器件领域中具有广泛应用，是半导体照明产业上游阶段关键设备。而目前，国内半导体照明产业的研发和生产所需设备全部依赖进口。
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